化工行業(yè)超純水設(shè)備是用于制備電阻率≥15 MΩ·cm（25℃）、雜質(zhì)含量極低（如TOC≤5 ppb、顆粒≤1個(gè)/ml）的高純度水的關(guān)鍵系統(tǒng)。

工藝流程：原水增壓系統(tǒng)--預(yù)處理（多介質(zhì)+活性炭過濾）--雙級(jí)反滲透過濾--EDI超純水

預(yù)處理：通過多介質(zhì)過濾器去除水中的懸浮固體、微粒等；利用活性炭過濾器吸附水中的有機(jī)物、余氯等；精密過濾器進(jìn)一步截留細(xì)小顆粒，為后續(xù)處理提供合格的進(jìn)水。

反滲透：在壓力作用下，使水通過半透膜，而溶解的鹽類、有機(jī)物和微生物等雜質(zhì)被截留，從而去除水中的大部分離子和有機(jī)物，降低水的含鹽量和雜質(zhì)含量。

電去離子（EDI）：運(yùn)用電場(chǎng)的作用，使水中離子有序遷移并被去除，進(jìn)一步提高水的純度，連續(xù)穩(wěn)定地制備超純水，無需酸堿再生。

1、自動(dòng)化程度高：配備液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表和 PLC 可編程控制器，實(shí)現(xiàn)無人值守操作，降低人工成本，提高設(shè)備運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性。

2、水質(zhì)穩(wěn)定：采用多種先進(jìn)的水處理技術(shù)和工藝，能夠有效去除水中的各種雜質(zhì)和離子，使出水水質(zhì)穩(wěn)定達(dá)到電子行業(yè)所需的高純度標(biāo)準(zhǔn)。

3、運(yùn)行成本低：一些設(shè)備采用了節(jié)能型的設(shè)計(jì)和技術(shù)，如超低壓滲透過濾技術(shù)、新型電除鹽技術(shù)等，可降低能耗，同時(shí)減少了酸堿等化學(xué)藥劑的使用，降低了運(yùn)行成本和對(duì)環(huán)境的污染。

4、維護(hù)簡(jiǎn)便：設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，零部件標(biāo)準(zhǔn)化程度高，日常保養(yǎng)、維修等操作簡(jiǎn)單方便，且設(shè)備故障幾率較小，可減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。

電阻率：≥15 MΩ·cm（25℃）

TOC（總有機(jī)碳）：≤1-5 ppb 顆粒物：≤1個(gè)/ml（粒徑≥0.1μm） 微生物：≤0.1 CFU/ml 離子含量：Na?、Cl?等≤0.01 ppb 溶解氧：≤1 ppb