反滲透技術是膜分離技術，與前置預處理系統配套使用，具有工藝好、操作簡便、運行費用低、無污染、維護方便等優點;利用高壓泵的加壓，反滲透膜的截留，可有效去除水中固體溶解物、有機物、膠體、微生物以及細菌等雜質。具有應用范圍廣、主動化程度高、占地少、能耗低、出水水質好等優點。

   反滲透純水設備是圍繞反滲膜而組織成的一套水處理系統，一套完整的反滲透系統分別由預處理系統、反滲透裝置(膜過濾部分)、后處理系統、清洗系統和電氣控制系統等組成。RO反滲透主要去除水中溶解鹽類、有機物、二氧化硅膠體、大分子物質及預處理未去除的顆粒物等。采用兩級RO工藝可有效去除水中離子，同時使出水滿足后續 EDI 裝置工藝進水要求。

   為確保RO裝置的穩定運行，在RO前設置了UV消毒器和阻垢劑加藥系統。

   為防止RO裝置中濃水側結垢，須在進水中投加阻垢劑。

   RO清洗系統為撬裝設備，包括清洗箱、5 μm過濾器和清洗泵。當RO系統發生結垢或污堵時可對RO裝置進行清洗，同時也可清洗EDI。

   中間水箱的功能為儲存RO產水、調節水量，使系統運行可以靈活調節。

   兩級RO系統產水的電導率＜10 μs/cm，SiO2含量＜500 μg/L，TOC＜50 μg/L。

   雙級反滲透純水系統根據不同的源水水質采用不同的工藝。一般自來水經一級反滲透系統處理后，產水電導率＜10-20μS/cm，經二級反滲透系統后產水電導率＜5μS/cm甚至更低，在反滲透系統后輔以離子交換設備或EDI設備可以制備超純水，使電阻率高達18兆歐姆.厘米)。 反滲透膜老化或受污染后，產水質量會下降。